?尺寸小，可進(jìn)行高速高分辨率定位。
? 開環(huán)控制時的行程為100μm。和開環(huán)控制相比，閉環(huán)控制時的最大行程會少10%左右。
?考慮到顯微鏡的種類，我們備有2種用于正立型和1種用于倒立型顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
?和其他壓電陶瓷平臺類似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）實現(xiàn)驅(qū)動。它們具有RS232C，GP-IB（僅FINE-503(CL)），USB接口，配合計量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可簡單地構(gòu)建控制需要的系統(tǒng)。
?在閉環(huán)控制時，平臺的行程與開環(huán)控制時相比會減少20%左右。
